※本原稿は生成AIの回答を参考に編集部でまとめたものです MEMSとは？ MEMSとは、シリコン上にメカ、センサ、電気回路が混在している非常に小さな部品です。 動きを感じる仕組み 例えば、シリコンの上に小さなボールが置か...