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MEMS（メムス）・NEMS（ネムス）

それぞれMicro Electro Mechanical Systems（マイクロ電気機械システム）とNano Electro Mechanical Systems（ナノ電気機械システム）の略称です。どちらも微小な機械要素と電子回路を組み合わせたデバイスですが、そのサイズスケールに違いがあります。

• MEMS（マイクロ電気機械システム）

  • MEMSは、マイクロメートル（100万分の1メートル）スケールの微細な構造を持つデバイスです。
  • シリコンなどの半導体材料を加工して作られることが多く、センサやアクチュエータなどの用途に広く利用されています。

• 代表的なMEMSの例

  • 加速度センサ：スマートフォンや自動車のエアバッグなどに搭載され、加速度を検出します。
  • ジャイロスコープ：スマートフォンの手ぶれ補正や自動車の姿勢制御などに利用され、角速度を検出します。
  • 圧力センサ：血圧計や自動車のタイヤ空気圧監視システムなどに利用され、圧力を測定します。
  • マイクロミラー：プロジェクターや光通信機器などに利用され、光の方向を制御します。
  • インクジェットプリンターヘッド: インクの噴射制御に利用されます。

• NEMS（ナノ電気機械システム）

  • NEMSは、ナノメートル（10億分の1メートル）スケールのさらに微細な構造を持つデバイスです。
  • MEMSよりもさらに高感度、高精度なセンサやアクチュエータを実現できます。
  • 研究開発段階のものが多く、MEMSに比べると実用化されているものはまだ限られます。

• 代表的なNEMSの例

  • ナノセンサ：極めて微小な力や質量、化学物質などを検出できます。
  • ナノアクチュエータ: ナノスケールでの精密な動作を実現します。

• MEMSとNEMSの共通点と違い

  • どちらも微細な機械要素と電子回路を組み合わせたデバイスである点は共通しています。
  • MEMSはマイクロメートルスケール、NEMSはナノメートルスケールと、サイズスケールが異なります。
  • NEMSはMEMSに比べて、より高感度、高精度なデバイスを実現できます。