センシンディーMEMS・NEMS
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MEMS・NEMS
Micro Electro Mechanical Systems（マイクロ電気機械システム）とNano Electro Mechanical Systems（ナノ電気機械システム）の略称で、微小な機械要素と電子回路を組み…
Micro Electro Mechanical Systems（マイクロ電気機械システム）とNano Electro Mechanical Systems（ナノ電気機械システム）の略称で、微小な機械要素と電子回路を組み…